【新闻中心】深紫外型偏光板

此偏光板针对波长在193nm至220nm范围内，具有约100:1左右的消光比。

由于采用WGP技术，因此对入射光的精度依赖较低。

其基板采用了合成石英（由Ohara Quartz公司制造的SK-1300），因由无机材料构成，故可在真空或高温（≤400℃）环境下使用。