PRODUCT

・フォトリソサービス

露光装置 : Im-ArF, Dry-ArF, KrF, i-ray
Wafer : 8インチ（Si、Quartz、Glass 等）、12インチ（Si ）

Im-ArF

KrF

つなぎ露光（Shotのつなぎが無くなる様な露光手法）

Line & Space

Pillar array

・エッチングサービス

Oxide：SiO2, TiO2, Ta2O5, 等
Metal : Cr, Al, Ta, Ti, 等
窒化物 : SiN, TiN, 等

SiO2

SiO2

TiO2

Ta

・成膜サービス（PVD , ALD, CVD, 等）

材料：metal　各種
Oxide　各種
反射膜、AR膜等設計～試作、生産

厚膜のSiO2のALD

ALD材料：SiO2, TiO2, Al2O3, ZrO2, Nb2O3, ZnO, Al2O3-SiO2, またこれらの多層膜, 他
※サンプル成膜もOK

・その他（切断、リフトオフ、Si Waferやガラスウエハの販売、等）

DOE設計～試作、生産
200mm, 300mmプロセス相談、コンサル
Ni電鋳サービス
微細加工全般

300mm Si シームレス Mold

8インチシームレス Quartz Mold

16層DOE

Blazed Grating

2層DOE

Nano pillar array

・位相板試作品

断面形状

Reference distribution